QWED諧振器SPRD應用
2017-08-28 16:27:00
SPDR用于測量包括LTCC襯底在內的層狀電介質材料的復介電常數，也用于沉積在低損耗介質襯底上的薄鐵電薄膜。此外，SPDR可用于測量各種導電材料（如商用電阻層，薄導電聚合物膜或高電阻率半導體）的表面電阻和電導率。這種測量僅適用于Rs> 5kΩ/平方的大表面電阻采樣。樣品的最小尺寸取決于諧振器的工作頻率。SPDR適合在-270℃至110℃的溫度下工作。
SPDR用于測量包括LTCC襯底在內的層狀電介質材料的復介電常數，也用于沉積在低損耗介質襯底上的薄鐵電薄膜。此外，SPDR可用于測量各種導電材料（如商用電阻層，薄導電聚合物膜或高電阻率半導體）的表面電阻和電導率。這種測量僅適用于Rs> 5kΩ/平方的大表面電阻采樣。樣品的最小尺寸取決于諧振器的工作頻率。SPDR適合在-270℃至110℃的溫度下工作。
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