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PIEZOSYSTEM JENA分辨率定位器PIEZOSYSTEM分辨率定位器TRITOR 10

產品介紹

高度緊湊的設計帶來卓越的性能

平行四邊形設計實現精確的平行運動

固態(tài)鉸鏈帶來高可靠性

沒有機械間隙的運動

nm和小于1nm范圍內的高分辨率

運動高達100μm

精密針孔

尺寸:40 x 40 x 34毫米

TRITOR 100尺寸為40 x 40 x34mm,如立方體和每軸100μm的平行XYZ運動范圍,使其成為市場上最小的3D壓電平臺之一。壓電元件TRITOR 100構造成立方體,具有頂板和底板。 通孔用于固定定位系統,這對于所有動態(tài)應用都很重要。在頂板上有幾個銷孔和螺紋孔,用于安裝外部組件。三維壓電元件采用可靠的壓電堆疊執(zhí)行器構建,具有柔性絕緣,非常適合高動態(tài)負載。三軸壓電定位器TRITOR系列結合了高剛度和出色的運動直線度,是纖維校準,激光技術和許多其他微定位任務的納米級高精度定位的理想解決方案。

詳細參數

型號:TRITOR 100

開環(huán)運動(±10%):100μm

每軸的電容:1.8μF

分辨率:0.2nm

共振頻率x/y/z:500/550/480 Hz

剛度:1/1/1 N/μm

最大力生成x/y/z

拉力:10/10/10 N

推力:100/100/100 N

電壓范圍:-20...+130 V

電纜長度:1.2m

尺寸(L×W×H):40×40×34mm

重量:165g


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