MPS系列可以通過監(jiān)控過程條件、檢測污染物和檢查泄漏來幫助您優(yōu)化過程。提供 100 amu 和 200 amu 兩種版本，能夠靈活地執(zhí)行各種功能，包括一般泄漏檢測、真空診斷和碳?xì)浠衔锓治觥?/p>

• 雙燈絲
• 現(xiàn)場可更換電子倍增器
• 可現(xiàn)場更換的陽極、陰極和排斥極燈絲組件
• 可互換的傳感器和電子設(shè)備
• TCP/IP 以太網(wǎng)連接
• 較短的傳感器可max限度地減少安裝空間
• max模擬掃描和選定峰值的每點(diǎn)數(shù)據(jù)速率為 3 ms
• MDPP <1.5E-14 Torr
• 傳感器在潔凈室環(huán)境中組裝、測試和雙重包裝

• 傳感器長度：14.3 厘米
• 質(zhì)量范圍：100 amu
• 探測器類型：FC
• 靈敏度 (FC)：3E-4 amps/Torr
• 靈敏度 (EM):NA
• min可檢測分壓 (3)：2.6E-12 Torr
• max傳感器工作溫度 (FC):200°C
• max傳感器工作溫度 (EM):不適用
• 燈絲類型選項(xiàng)：雙 Y2O3/Ir 燈絲
• 分辨率 (1)：<1 amu 寬
• 溫度系數(shù) (2)：<1%/°C
• 每點(diǎn)max數(shù)據(jù)速率：3 ms
• 零爆炸（@質(zhì)量 2）：<100 ppm
• max工作壓力：5E-4 Torr
• max烘烤溫度：300 °C
• 電源輸入：20-30 VDC