VaporSorb系列混合化學(xué)空氣過(guò)濾器旨在為 22 納米以下節(jié)點(diǎn)的先進(jìn)半導(dǎo)體制造環(huán)境提供保護(hù)。 Entegris VaporSorb 過(guò)濾器有助于降低高流量設(shè)施應(yīng)用中不需要的空氣分子污染 (AMC) 水平。 Entegris VaporSorb FAC 過(guò)濾器可針對(duì)任何類(lèi)型的空氣處理裝置安裝進(jìn)行配置，并且特別適合補(bǔ)充空氣 (MUA) 和回風(fēng)處理 (RAH) 應(yīng)用。 Entegris VaporSorb FAC 過(guò)濾器使用我們廣泛的潔凈室環(huán)境水平數(shù)據(jù)庫(kù)設(shè)計(jì)，以提供大的效率和污染物去除。

提供保護(hù)，防止強(qiáng)酸和弱酸以及有機(jī)物和堿（如氨），減少晶圓缺陷，提高產(chǎn)量并延長(zhǎng)設(shè)備正常運(yùn)行時(shí)間

具有優(yōu)化的吸附劑混合物的特定應(yīng)用過(guò)濾器針對(duì)并去除每個(gè)工藝工具關(guān)注的污染物，大限度地減少介質(zhì)浪費(fèi)并延長(zhǎng)使用壽命

任何 FFU、工具內(nèi)、設(shè)備工廠接口或過(guò)程模塊安裝的靈活配置簡(jiǎn)化了安裝和集成

Entegris 擁有的過(guò)濾器制造為特定于晶圓廠的優(yōu)化介質(zhì)提供快速周轉(zhuǎn)