InVue GV148 液體濃度監(jiān)測器可在不干擾或中斷過程的情況下，為化學(xué)品混合、加標(biāo)和稀釋提供實(shí)時過程流體濃度測量。GV148 液體濃度監(jiān)測儀集成在一個緊湊的高的純度封裝中，可提供經(jīng)濟(jì)的高性能濃度監(jiān)測，從而提高生產(chǎn)線前端 (FEOL)、生產(chǎn)線后端 (BEOL) 的工藝效率 ) 和子晶圓廠交付化學(xué)系統(tǒng)。 這種增加的過程可見性導(dǎo)致更嚴(yán)格的過程控制、更高的晶片產(chǎn)量、減少的化學(xué)品使用和減少的廢料。GV148 監(jiān)測儀采用經(jīng)過驗(yàn)證的折射率技術(shù)，封裝在緊湊的配置中，可提供準(zhǔn)確和可重復(fù)的液體濃度測量方法。 在線傳感器可準(zhǔn)確測量過程流體的折射率 (IoR) 和溫度。 然后使用該信息來計(jì)算過程流體濃度。

使用反射指數(shù)測量 CMP 漿料和非導(dǎo)電流體

帶有集成電子元件的小尺寸可大程度地減小工具尺寸

HMI 軟件支持實(shí)時數(shù)據(jù)記錄、分析和定制

窗戶清潔端口可輕松訪問藍(lán)寶石窗戶進(jìn)行清潔