閥門處理半導體和其他加工中的應用，常用于將泵和樣品入口鎖與 HV 或 UHV 工作室隔離。

閥門對行業的重要性幾乎與泵一樣重要。我們提供各種尺寸的閥門類型。

• CF 法蘭（帶銅墊片）：在大氣中工作，壓力范圍為 10-11 托，可烘烤至 200°C（移除執行器）
• 通用電拋光不銹鋼
• 1,100°C 真空釬焊，確保在 HV 和 UHV 壓力下可靠運行
• 在緊湊的設計中提供高電導率
• 無沖擊運行，振動小
• 需要維護前的 100,000 次循環服務
• 提供手動或氣動操作
• 氣動閥在斷電或氣壓損失的情況下關閉或保持關閉
• 所有氣動5” 法蘭外徑和更大的型號包含用于位置指示的磁性 REED 開關
• 氣動閥配備 120VAC 電磁操作器，無需額外費用（其他電壓，交流和直流，可根據要求提供）