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LUMENTUM調Q激光器Q301-HD-1000R

產品介紹

Lumentum Q 系列激光器用于各種高精度微加工應用的高功率 Q 開關二極管泵浦紫外和綠光激光器市場。無論是對陶瓷等材料進行高脈沖能量處理、對藍寶石或硅等材料進行高重復率處理,還是對薄膜太陽能電池進行圖案化,Q 系列激光器都能提供高性能和正常運行時間。

性能特點

  • 高的商用脈沖能量和峰值功率
  • 由于獨特的腔內諧波產生實現了能量穩定性,因此更嚴格的過程控制
  • 由于脈沖能量、脈沖寬度和重復頻率的選擇范圍廣,因此能夠處理廣泛的材料
  • 由于諧波晶體中的低能量密度和暴露于紫外線的無腔光學涂層,可靠性高
  • 提供 355 和 532 nm 輸出
  • 可根據要求定制

選型指南

可選功能與配件

Q-PS-1000R:標準電源

Q-PS-A30R:3 米柔性臍帶電纜

Q-PS-A50R:5 米柔性臍帶電纜

Q-PS-A70R:7 米柔性臍帶電纜

Q-PS-A100R:10 米柔性臍帶電纜

QA-CH:標準 110 VAC

QA-CH-E:歐洲 220 VAC

QA-CH-A11:一對 3 m 軟管,直/直接頭

QA-CH-A12:一對 5 m 軟管,直/直接頭

QA-CH-A21:一對 3 m 軟管,直角/直型接頭

QA-CH-A22:一對 5 m 軟管,直角/直型接頭

QA-CH-A31:一對 3 m 軟管,直角/直角接頭

QA-CH-A32:一對 5 m 軟管,直角/直角接頭

技術參數

波長:355 納米

極化:>100:1

空間模式 TEM00

M-平方:<1.2

腰部位置(內部,從光束出口):42±0.4 cm

腰部直徑 1/e:0.26 mm 標稱

光束圓度:>85% 圓形

光束發散角,全角:1.8±0.35 mrad

(Q304-HD-1000R:2.0±0.35 mrad)

光束指向漂移,全角:<10 μrad/°C

指向漂移,超過 8 小時,全角度:2 <50 μrad

光束位置精度,單位到單位:從標稱<2.5 mm

光束指向精度,單位到單位:從標稱<1°

控制器重復率

內部觸發:1 kHz 至 250 kHz

外部觸發:0 至 250 kHz

8 小時內的功率漂移: <±2%

熱身時間

從冷啟動:<20 分鐘

從待機:<10 分鐘

工作環境溫度:15 至 35°C

相對濕度,非冷凝:10 至 80%

重量:14.5 公斤

產品應用

晶圓劃線

全切割晶圓切割

低k介電開槽

硅、藍寶石、陶瓷和金屬的微加工

微孔鉆孔

PCB和柔性板切割


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