集成系統將線性或 XY 平臺與轉臺相結合，提供交鑰匙解決方案。 平臺可配備直接驅動直線電機或基于滾珠絲杠的機械裝置。

開放式 XY 旋轉平臺設計用于半導體制造行業中的晶圓處理和許多其他自動化定位應用。 位于單元側面的 XY 驅動機構和大型中心通孔轉臺提供了清晰通暢的晶圓訪問。

XY臺：XY-OF-UL-200x200

旋轉臺：ACR-160UT

電機類型：無刷伺服電機/編碼器（標準）

直線伺服電機（選件）

XY行程：200 x 200 mm

中心孔徑：直徑160 mm

分辨率（線性）：1 micron（注 1,2）

2.5 micron（注3）

分辨率（旋轉）：1.4 arc-sec

重復性（線性）：5 micron（注3）

1 micron（注 1,2）

重復性（旋轉）： 2 arc-sec

速度：400mm/sec（注 3）

800mm/sec（注2）

負載重量： 30 kg

載物臺重量：16 kg

（注1）帶線性編碼器（可選）

（注2）直線伺服電機（可選）

（注 3）滾珠絲杠 10 mm 導程，無刷伺服驅動