Ichor Systems 生產(chǎn)全系列常規(guī)、模塊化隔膜閥、模塊化計(jì)量閥和止回閥，其性能和純度均達(dá)到或超過所有行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)。我們的常規(guī)隔膜閥 (CDV) 系列可為常規(guī)安裝系統(tǒng)提供高可靠性和價(jià)值，而我們的模塊化隔膜閥 (MDV) 系列則專為模塊化表面安裝系統(tǒng)而設(shè)計(jì)。我們所有閥門的設(shè)計(jì)均符合 SEMI 規(guī)范，具有良好的可靠性和性能，并與市場上所有競爭系統(tǒng)兼容。客戶須確保所選部件是符合其防護(hù)性能的適當(dāng)部件，同時(shí)考慮到氣體/流體輸送系統(tǒng)的材料兼容性、操作條件、正確安裝等因素。

模塊化隔膜閥

1.500" C 型密封, 2 端口

Hybrid LOTO, PFA / ASTM D3307

類型 II, 鎳 200, 高純度

純度

材料

底座材料

傳動(dòng)類型

端口數(shù)

密封類型

底座尺寸

產(chǎn)地：美國

工作壓力：真空至 150 psig

工作溫度：-10 至 150 ℃(15 至 300 ℉)

基座尺寸：1.500 英寸

密封類型：C 形密封

端口數(shù)：2 個(gè)端口

主體材料：鎳 200

純度等級：高純度

閥座材料：PFA/ASTM D3307，II 型

執(zhí)行機(jī)構(gòu)特點(diǎn)：M5 螺紋和 1/4 轉(zhuǎn)手動(dòng)操作

膜片材料：elgiloy

流量系數(shù)：0.3 cv

潤濕表面光潔度：10 ra

清洗：超聲波清洗

驅(qū)動(dòng)類型：混合動(dòng)力

爆破壓力：4500 psig

執(zhí)行壓力：65 至 125 psig

流體輸送、半導(dǎo)體、制造業(yè)、集成解決方案