低壓微波等離子體源

可擴(kuò)展和緊湊的設(shè)計(jì)

大面積應(yīng)用

高等離子體密度

高效率

低傷害

輕松適應(yīng)定制系統(tǒng)

雙等離子體的組合可以用于獲得二維等離子體陣列。單個(gè)源以及2個(gè)，4個(gè)和8個(gè)平行排列的等離子體可用于等離子體輔助表面處理，如表面活化，蝕刻和沉積。雙等離子體是不使用磁場的直接微波等離子體源。在簡化的描述中，它類似于由微波激發(fā)的反向發(fā)光管，雙等離子體通常在約1000Pa至10Pa的低壓下操作。由兩個(gè)磁控管產(chǎn)生的具有2.45GHz頻率的微波在兩端被饋送到等離子體線中。在外部低壓狀態(tài)下放電點(diǎn)火，隨著微波功率的增加，等離子體從沿著管的兩端增長，并且形成軸向均勻的等離子體。